[13p-S301-1~15] 6.2 Carbon-based thin films

[13p-S301-15] Corrosion resistance of amorphous carbon film

〇Takumi Ebihara¹, Masanori Hiratsuka², Ali Alanazi³, Kenji Hirakuri¹ (1.Tokyo Denki Univ., 2.Nanotec Co., 3.King Saud Univ.)

Keywords:amorphous carbon film, corrosion resistance

SDGsで提唱されているような地球環境に配慮して、製品寿命を長期化させる技術が注目を集めている。しかし、金属材料は使用環境など外的要因によって腐食することで、金属製品の故障や劣化を引き起こす。そこで、金属材料の耐食性を向上させる表面処理技術として薄膜の一種であるDLC をステンレス材に成膜し、耐食性の向上を検討した。本研究ではDLCを用いて代表的な酸およびアルカリの化学溶液に対する耐食性を調査した。