[13p-S301-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[13p-S301-4] 異なる雰囲気下での層状窒化炭素膜の成長

〇高島 健介¹、浦上 法之^1,2、橋本 佳男^1,2 (1.信州大、2.先鋭材料研究所)

キーワード：窒化炭素