[13p-S301-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[13p-S301-5] 積層コアへの電気絶縁性DLCコーティングの応用

〇三原 伊織¹、桒原 大樹²、安中 茂²、林 俊郎³、春山 哲也³、石黒 康志¹、平栗 健二¹ (1.東電大工、2.仲代金属、3.ピーエス特機)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、電気絶縁性

現在モータの構成要素である積層コアの絶縁膜にはエポキシコーティングが施されており、膜厚が非常に厚くなる欠点がある。そこでダイヤモンドとグラファイトの構造を併せ持つ非晶質な炭素薄膜であるDLC膜に着目した。本研究では積層コアへDLC膜を成膜し、電気絶縁性および高温空間や高湿度空間のような厳しい環境への特性を確認した。