[13p-S401-1~11] 1.5 計測技術・計測標準

[13p-S401-1] 高精度・広帯域隔膜真空計Q’z^® Gauge（Quartz Gauge）の開発

〇本山 久雄¹、北條 久男¹ (1.クオーツ)

キーワード：真空計

今回当社において、高感度水晶圧電素子と当社特許のダブルダイアフラム感圧機構と断熱構造により、ヒーターレスで0.1Paから100kPaまで１台で計測出来、温度特性込で精度0.03%F・Sの高精度・広帯域隔膜真空計Q’z Gauge(Quartz Gauge)の開発に成功した。