Development of high precision and wide band diaphragm vacuum gauge Q’z<sup>®</sup> Gauge <br />(Quartz Gauge)

Presentation information

Oral presentation

1 Interdisciplinary Physics and Related Areas of Science and Technology » 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[13p-S401-1~11] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

Mon. Sep 13, 2021 1:00 PM - 3:45 PM S401 (Oral)

1:00 PM - 1:15 PM

〇Hisao Motoyama¹, Hisao Hojo¹ (1.Q'z)

Keywords:Vacuum gauge

今回当社において、高感度水晶圧電素子と当社特許のダブルダイアフラム感圧機構と断熱構造により、ヒーターレスで0.1Paから100kPaまで１台で計測出来、温度特性込で精度0.03%F・Sの高精度・広帯域隔膜真空計Q’z Gauge(Quartz Gauge)の開発に成功した。