[13p-S401-1~11] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[13p-S401-3] Uncertainty of measurement results obtained using a miniaturized CRDS-based trace-moisture analyzer

〇Hisashi Abe¹, Koji Hashiguchi¹, Shinichi Honda², Tomoki Miyake², Hiroyuki Shimizu² (1.NMIJ/AIST, 2.SHINYEI Technology)

Keywords:cavity ring-down spectroscopy

私たちは小型CRDS微量水分計の開発を行っている。CRDSは複数のレンズ・ミラーを用いて光学系を組むのが一般的であるが、本研究では小型化のため、光学素子の数が最小となるレンズ2枚、キャビティ用高反射率ミラー2枚のみを用いた。シミュレーションと予備実験を繰り返しながら光学系の設計・最適化を行い、その結果、センサー部のサイズ9 cm ×15 cm × 24 cm、質量2.7 kgの小型CRDS微量水分計の開発に成功した。今回、小型CRDS微量水分計で得た測定結果の不確かさを評価した。