[13p-S401-1~11] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[13p-S401-4] Development of the silicon photonic thermometer by using ring resonators

〇Yasuki Kawamura¹, Tomoya Irimatsugawa¹, Yuki Atsumi¹, Ryohei Takei¹, Tohru Nakano¹, Chiharu Urano¹ (1.AIST)

Keywords:temperature measurement, silicon waveguide, ring resonator

本研究ではマイクロスケールの局所的な領域における高精度温度計測技術の開発を目的とし、シリコン光導波路によるリング共振器を温度計として応用することを目指している。本講演では開発したデバイスを、温度安定度が±5 mK以内となる高精度恒温槽と用いて標準用白金抵抗温度計と比較し、温度計として評価した結果について報告する。