[13p-S401-1~11] 1.5 計測技術・計測標準

△ [13p-S401-6] 高湿度標準発生装置における能動的露点制御の応答性向上に関する研究

〇石渡 尚也¹、阿部 恒¹ (1.産総研)

キーワード：高湿度、湿度発生装置、露点制御

高湿度標準発生装置による露点発生の高度化を目指し、圧力制御を用いた能動的露点制御システムの開発を進めている。本システムは既に、高露点発生での露点ドリフトや装置内温度の大きな変動による露点変動の抑制に成功している。しかし、圧力安定化のための装置内容積が大きく、速い露点変化・変動の抑制に必要な圧力制御の応答性は十分でなかった。本発表では、システムによる露点制御の応答性向上への取組みの成果を報告する。