[21a-P02-1~8] 1.2 Education

[21a-P02-7] Comparison of electrical characteristics of the Schottky diodes using liquid metal, gold and aluminum electrodes

〇Shunya Uchida¹, Masaki Kumagai¹, Atsushi Utsumi¹ (1.NIT Maizuru)

Keywords:diode, liquid metal, Schottky electrode

我々は，特別な製造装置を使用せず，かつ短時間で作製できる半導体デバイスの実現を目指し，現在は液体金属を用いたショットキーバリヤダイオードの実験用教材を開発している．今回，裏面電極に液体金属を使用し，表面電極に金，アルミニウムを蒸着，スパッタしたものと液体金属を塗布して作製したダイオードの特性の比較を行ったのでその結果を報告する．