[21a-P03-1~7] 1.3 新技術・複合新領域

[21a-P03-3] PDMS微細流路構造高周波無線水晶振動子ガスセンサの開発

〇阿藤 大輝¹、木村 優仁¹、加藤 史仁¹、増本 憲泰¹、野口 裕之¹ (1.日工大)

キーワード：ガスセンサ、水晶振動子センサ、微細流路

水素吸蔵材料のパラジウム（Pd）を水素感応膜として利用し，無線水晶振動子センサ技術と組み合わせることで，基本共振周波数66.65 MHzの高周波無線水晶振動子水素ガスセンサを開発した．また，実験を通じて，水素の爆発下限界以下となる濃度1%の水素ガス検出に成功した．