[21a-P03-1~7] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[21a-P03-5] Bending durability of Cr/Cu electrodes on polyimide tape surface treated using solid source H₂O plasma

〇Mie Tohnishi¹, Mina Sato¹, Sachiko Matsushita², Akihiro Matsutani¹ (1.Tokyo Tech. OFC, 2.Tokyo Tech. Materials Science and Engineering)

Keywords:H2O Plasma, Polyimide

ポリイミドなどの樹脂表面に金属薄膜を成膜して作られたフレキシブル電極には、電極金属と樹脂表面の良好な密着性が求められる。ここではOH 基による接合の効果を期待して、固体ソースH₂Oプラズマを用いて表面処理したポリイミドテープに電極金属を成膜し、電極金属のシート抵抗と、折り曲げに対する耐久性について評価を行った。