[21a-P03-1~7] 1.3 新技術・複合新領域

[21a-P03-5] 固体ソースH₂O プラズマを用いて表面処理したポリイミドテープ上のCr/Cu 電極の折り曲げ耐久性

〇遠西 美重¹、佐藤 美那¹、松下 祥子²、松谷 晃宏¹ (1.東工大OFC、2.東工大物質理工)

キーワード：H₂Oプラズマ、ポリイミド

ポリイミドなどの樹脂表面に金属薄膜を成膜して作られたフレキシブル電極には、電極金属と樹脂表面の良好な密着性が求められる。ここではOH 基による接合の効果を期待して、固体ソースH₂Oプラズマを用いて表面処理したポリイミドテープに電極金属を成膜し、電極金属のシート抵抗と、折り曲げに対する耐久性について評価を行った。