[21a-P03-1~7] 1.3 新技術・複合新領域

[21a-P03-6] Si異方性エッチングによるせん断振動薄板共振子形成に関する基礎検討

〇篠原 淳希¹、鈴木 洋平¹、加藤 史仁¹、増本 憲泰¹、野口 裕之¹ (1.日工大)

キーワード：共振子、異方性エッチング、圧電解析

本研究では，せん断振動する薄板共振子の製作プロセス検討と圧電解析による構造検討を行った．共振子の材料は，AT-cut水晶を想定しているが，基礎検討のため，シリコン熱酸化膜を代替材料として，製作プロセス検討を実施した．また，AT-cut水晶の圧電解析を実施し，四隅を梁で固定した薄板共振子は，共振周波数近傍において，面内の広域において，せん断変位分布を生ずることを見出した．