[21a-P06-1~4] 1.6 超音波

[21a-P06-3] レーザスペックルを用いた振動変位分布絶対値の評価とレーザパルス法の検討

〇渡部 泰明¹、王 景²、原 健悟¹ (1.都立大、2.太陽誘電MT)

キーワード：レーザースペックル、鏡面測定

本研究では，当時(2004年）入手困難だったUV（紫外：Ultraviolet）波長に対して，鏡面に対する自由な入射角度等を制御することを目的に，まず鏡面の反射率を調べる方法およびLaser Speckle干渉法の検討を行った．さらにLaser Speckle干渉に用いる手法として，Laser pulse法が用いられているが，レーザ光の相対角度とデューティ比を精密に求める手法は存在しなかった．そこで鏡面の反射率を調べる方法，Laser Speckle干渉法の検討し，Laser pulse法を具体的に実施したので報告する．