[21p-P06-1~5] 3.7 Laser processing

[21p-P06-5] Development of fabrication process of monolayer graphene using femtosecond laser

〇Naohiro Kadoguchi¹, Taito Miwa¹, Yuuki Uesugi¹, Yuichi Kozawa¹, Shunichi Sato¹ (1.IMRAM, Tohoku Univ.)

Keywords:laser processing, femtosecond laser, graphene

本講演では単層グラフェンのフェムト秒レーザーによる加工について講演する。本研究では空間光変調器を使って入射フェムト秒レーザーに周期的な空間位相変調パターンを与え、複数のビームに回折・分岐し、それらを単層グラフェン試料面上に集光して干渉加工を行った。これにより単層グラフェンを格子状に加工することに成功した。