[21p-P06-1~5] 3.7 レーザープロセシング

[21p-P06-5] フェムト秒レーザーを用いた単層グラフェンの加工プロセスの開発

〇門口 尚広¹、三輪 泰斗¹、上杉 祐貴¹、小澤 祐市¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：レーザープロセッシング、フェムト秒レーザー、グラフェン

本講演では単層グラフェンのフェムト秒レーザーによる加工について講演する。本研究では空間光変調器を使って入射フェムト秒レーザーに周期的な空間位相変調パターンを与え、複数のビームに回折・分岐し、それらを単層グラフェン試料面上に集光して干渉加工を行った。これにより単層グラフェンを格子状に加工することに成功した。