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[21p-P07-4] 低反射ターゲットに対する周波数シフトテラヘルツ波の距離計測高感度化
キーワード:テラヘルツ波、距離計測
テラヘルツ波は物質への高い透過性や、比較的低エネルギーの電磁波であるため、非破壊検査への応用が期待されている。我々は周波数シフト帰還型レーザーを励起光源として周波数シフトテラヘルツ波を発生させ、テラヘルツ波帯での光周波数領域リフレクトメトリ計測の精度向上を行ってきた。本発表では FS テラヘルツ波の高出力化、受信の高感度化を行うことで、低反射ターゲットの厚みの距離計測に成功したので報告する。