[21p-P09-1~4] 3.11 フォトニック構造・現象

[21p-P09-1] 電気制御高Q値光ナノ共振器結合の作製プロセスに関する検討

〇井上 和輝¹、宋 奉植^1,2、浅野 卓¹、野田 進¹ (1.京大院工、2.成均館大)

キーワード：フォトニック結晶、共振器、電気制御

我々はこれまでに、高Q値共振器の結合系に結合状態を制御する面内p-i-n構造を導入した系を実現し、共振器間の光転送を実証している。しかし、この結合系の共振器Q値は、p-i-n構造外の光保持用共振器であっても、従来の制御機構なしの試料と比較すると低い。その原因の1つに考えられるイオン注入プロセスに関しては、これまで系統的な検討は行われていなかった。今回、これに関して系統的に調査したので報告する。