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[21p-P10-11] シリコンナノディスクアレイによる吸収増強を用いた近赤外狭帯域光検出素子
キーワード:近赤外光検出、メタサーフェス
シリコンナノディスクを六方格子状に配列したアレイにおいて、近赤外領域にトロイダル双極子共鳴に由来する狭帯域な吸収増強が現れる。この共鳴によりシリコンの欠陥準位を介した吸収を増強することで、バルクシリコンのバンドギャップ以下の近赤外領域で動作する光起電力素子を開発した。本発表では、計算により構造パラメータと共鳴波長、Q値の関係を明らかにするとともに、実際に作製したデバイスの特性について報告する。