[22a-P01-1~4] 6.1 Ferroelectric thin films

[22a-P01-1] Noise Reduction by Principal Component Analysis for Local C-V Mapping

〇Yoshiomi Hiranaga¹, Takanori Mimura², Takao Shimizu², Hiroshi Funakubo², Yasuo Cho¹ (1.Tohoku Univ., 2.Tokyo Tech.)

Keywords:ferroelectrics, scanning probe microscopy, hafnium oxide

本講演では，主成分分析によるプローブ顕微鏡データのノイズ除去に焦点を当てつつ，局所C-Vマッピング法によるナノスケール強誘電分極反転評価について紹介する．