[22a-P02-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[22a-P02-4] グラファイト状窒化炭素を用いる青色蛍光薄膜の作製

〇松田 將誉¹、大谷 直毅¹ (1.同志社大理工)

キーワード：窒化炭素

グラファイト状窒化炭素は、青色蛍光を示す物質である。これを用いることで、InGaN青色LEDに代わる、低コストな青色発光デバイスの作製を目指している。製造方法はスピンコーティング法を用い、活性層かつ電子輸送層にg-C₃N₄薄膜を、正孔輸送層にMoO₃薄膜をそれぞれ成膜した。本研究ではMoO₃薄膜上に均一なg-C₃N₄薄膜を成膜することを目的とし、g-C₃N₄薄膜単層、積層の各成膜状態を評価した。