[22a-P02-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[22a-P02-6] スパッタAg-カーボン混合膜によるTHMの検討

〇近藤 裕佑¹、松村 直巳¹、筧 芳治¹、佐藤 和郎¹ (1.大阪技術研)

キーワード：透明熱線反射膜、Agカーボン混合薄膜