[22a-P03-1~16] 6.3 Oxide electronics

[22a-P03-15] Phase tuning of oriented vanadium oxide thin films by uniaxial compression annealing

〇(M1)Hiroki Shoji¹, Kenta Kaneko¹, Tomoaki Oga¹, Satoru Kaneko^2,1, Mamoru Yoshimoto¹, Akifumi Matsuda¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:uniaxial compression annealing, vanadium oxide, phase tuning

酸化バナジウムはV²⁺〜V⁵⁺までの酸化状態を示し、多様なデバイスへの応用が期待されている。我々はこれまでに、非晶質V₂O₅薄膜を一軸圧縮熱処理(UCA)により固相結晶化し、印加圧力に応じたVO₂、V₂O₃エピタキシャル薄膜の相制御について報告してきた。本研究では、前駆体薄膜として結晶配向膜を用いた構造・方位関係を継承した新たな相制御を目的として、V₂O₅配向膜のUCAによる結晶相変化と印加圧力による相制御および物性への影響を検討した。