[22a-P03-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[22a-P03-16] SrTiO₃単結晶の結晶性の評価

〇倉持 華子¹、ググシェフ クリスト²、森 泰蔵¹、リップマー ミック¹ (1.東大物性研、2.ライプニッツ結晶成長研究所)

キーワード：結晶性、チタン酸ストロンチウム、ロッキングカーブ

チタン酸ストロンチウム(SrTiO₃)は様々な特性を有し、ヘテロ構造デバイスや光触媒による水分解などの応用がなされている。しかし、それらのSrTiO₃特性は結晶性や格子欠陥に非常に敏感であり、その固定や制御が課題になっている。本研究では、ベルヌーイ法、チョクラルスキー法、EFG法で作製された６種類のSrTiO₃単結晶について高分解能X線回折(XRD)のロッキングカーブ測定を行い、SrTiO₃単結晶表面の結晶性を評価した。