[22a-P04-1~18] 6.4 薄膜新材料

[22a-P04-11] セラミックスアーキテクチャーによるテラヘルツガスセンシングの試み

〇小松 啓志¹、岩本 敏志²、伊藤 治彦¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.日邦プレシジョン株式会社)

キーワード：セラミックスアーキテクチャー、テラヘルツ時間領域分光(THz-TDS)、ガスセンシング

テラヘルツ時間領域分光(THz-TDS)法は、超短パルスレーザ（パルス幅：約100 fs(100×10^-15秒）を用いて測定対象の光学定数（誘電率や屈折率）の実部と虚部が同時に得られ、時間波形より試料内に時系列的に何がおこっているのか、物理的に把握しやすい。大気開放型化学気相析出(CVD)法で得られる酸化物は、結晶学的に高品質かつ高配向性であること、ミクロンメーター単位で制御されたウイスカー形状構造などの構造体を形成することができる。この技術をセラミックスアーキテクチャーと定義する。本研究では、癌や生活習慣病の予知・早期検知手段として、体内の揮発性有機化合物（VOC）を対象としたセラミックスアーキテクチャーによるTHz波による呼気センシング技術を提案する。