09:00 〜 10:40
[22a-P04-12] 反応性スパッタ法により室温堆積したYSZ薄膜における結晶性の酸素流量依存性
キーワード：YSZ薄膜、反応性スパッタ法、低温堆積
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料
[22a-P04-1~18] 6.4 薄膜新材料
2021年9月22日(水) 09:00 〜 10:40 P04 (ポスター)
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料
2021年9月22日(水) 09:00 〜 10:40 P04 (ポスター)
09:00 〜 10:40
キーワード：YSZ薄膜、反応性スパッタ法、低温堆積