[22a-P04-1~18] 6.4 薄膜新材料

[22a-P04-2] 大気中アニールによるTiNの電気的特性

〇清水 利玖¹、及川 大地¹、藤田 利晃²、牧本 俊樹¹ (1.早大理工、2.三マテ)

キーワード：TiN

TiNは金属であるので、キャリアに対する格子散乱が電気的特性に大きな影響を及ぼすために、測定温度が減少すると抵抗率が減少する。しかしながら、本研究では、測定温度が減少すると抵抗率が増加するTiNを確認した。このように、TiNでは二種類の抵抗率の温度依存性が存在する。そこで、本研究では、大気中におけるアニール前後のTiNの電気的特性を解明するために、ホール効果測定を用いて二種類のTiNの電気的特性を評価した。