[22a-P06-1~12] 6.6 Probe Microscopy

[22a-P06-2] Examination of force detection by thermal deflection of qPlus equipped in STM system

〇Hiroaki Ooe¹ (1.Yokohama City Univ.)

Keywords:AFM, Thermal Deflection, Measurement in Air conditions

音叉型水晶振動子製のFM-AFM用力センサー（qPlusセンサー）を組み込んだ大気型STMを構築し、qPlusセンサーの熱振動スペクトルに対する探針試料間力の効果を検証する。