11:00 〜 12:40
[22a-P06-2] STMに組みこんだqPlusセンサの熱振動を利用した力計測の取り組み
キーワード:原子間力顕微鏡、熱振動、大気環境計測
音叉型水晶振動子製のFM-AFM用力センサー(qPlusセンサー)を組み込んだ大気型STMを構築し、qPlusセンサーの熱振動スペクトルに対する探針試料間力の効果を検証する。
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.6 プローブ顕微鏡
2021年9月22日(水) 11:00 〜 12:40 P06 (ポスター)
11:00 〜 12:40
キーワード:原子間力顕微鏡、熱振動、大気環境計測