[22a-P06-1~12] 6.6 Probe Microscopy

[22a-P06-4] Machine-learning-based noise-reduction for scanning probe microscopy

〇Yoshiya Tatsuda¹, Shinji Watanabe² (1.Kanazawa Univ., 2.WPI-NanoLSI)

Keywords:scanning probe microscopy, machine learning

走査型プローブ顕微鏡の計測では、ノイズに埋もれた微小信号の検出がしばしば必要になる。我々は、時間領域の計測情報からノイズに埋もれた信号の存在をリアルタイムに推定する信号処理アルゴリズムを機械学習の手法を用いて開発している。本研究では、開発したアルゴリズムをFPGAに実装し、走査型イオン電導顕微鏡(SICM)の計測にてその効果を検証したので報告する。