[22a-P06-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[22a-P06-5] エレクトロニックグレードダイヤモンドを用いた走査NV中心プローブの開発

〇出口 碧惟¹、貝沼 雄太¹、林 都隆¹、安 東秀¹ (1.北陸先端大)

キーワード：走査NV中心プローブ、NV中心

TypeⅡaとエレクトロニックグレードのバルクダイヤモンド表面にイオン注入 (1×10¹²/cm²,¹⁴N⁺, 30 keV) と加熱 (900℃ 1h) によりNV中心を作成し、レーザー加工により、これらバルクダイヤモンドからピラー形状のダイヤモンドを作成し、原子間力顕微鏡先端に取り付け走査NV中心プローブとして用い、磁性体構造の磁気計測によりそれぞれのプローブの性能を評価した結果について報告する。