[22a-P06-1~12] 6.6 Probe Microscopy

[22a-P06-6] Damping Control of Oscillation with Large Displacement Scan by Multiple Delayed Half Waves

〇Shunya Kaneda¹, Shinji Watanabe² (1.Kanazawa Univ., 2.WPI-NanoLSI)

Keywords:scanning probe microscope

走査型プローブ顕微鏡で用いられるスキャナは、固有の機械共振を有し、これによりスキャナの制動性能は制限されてしまう。本研究では、スキャナの制動性能を向上するためにQ値制御に変わる周波数、振幅が可変な複数の半周期の正弦波を、ステップ関数に、それぞれ異なるタイミングで加算した電圧パターンによってスキャナを駆動するという新たなFF制御を考案し、その有効性を検証した。