[22p-P01-1~12] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[22p-P01-2] 水晶振動子質量測定によるFe₂O₃室温ALDの表面反応評価

〇(PC)吉田 一樹^1,2、永田 一成¹、齋藤 健太郎^1,2、三浦 正範³、鹿又 健作³、廣瀬 文彦¹ (1.山形大院理工、2.学振特別研究員、3.山形大ROEL)

キーワード：原子層堆積、表面反応、室温成膜

Fe₂O₃ はMRIの造影剤にも用いられる一般的な磁性材料であるが、ALDでは130 ˚Cでの報告が最低温であった。共同研究者の永田らは酸化ガスをプラズマ励起加湿アルゴン、原料ガスを((DIPPA)₂Fe)として室温(22 ˚C)でのFe₂O₃ ALDプロセスを開発した。本研究ではQCMを用いてALDにおける質量変化を観察し、成膜モードの確認を行った。さらに質量変化を計算予測することで、表面反応を解析した結果を示す。