[22p-P02-1~10] 10 Spintronics and Magnetics(Poster)

[22p-P02-7] Anomalous Hall effect sensors using Heusler alloy Co₂MnAl for Automobile

〇Masahiro Yoshimura¹, Kenichi Ao¹, Masashige Sato¹, Yasushi Kono¹, Kenichi Sakai¹, Makoto Kohda², Junsaku Nitta², Hiroyuki Wado¹ (1.MIRISE Technologies Corporation, 2.Tohoku Univ.)

Keywords:Magnetic sensor, Anomalous Hall effect, Heusler alloy

近年，家電・産業機器の高性能化，自動車の電動化等により磁気センサの需要は高まっており，高精度・廉価な磁気センサが望まれている。
異常ホール効果磁気センサは，最近の研究で高感度化・高精度化が期待できると報告されており，磁性膜単膜でも効果が出現し素子作製も簡便なことから，精度とコストの両立を期待している．
今回，車載応用の可能性を検討するために，Co₂MnAl異常ホール効果素子を作製し，センサ特性評価を行った．