[22p-P02-1~10] 10 スピントロニクス・マグネティクス(ポスター)

[22p-P02-7] ホイスラー合金Co₂MnAlの車載用異常ホール効果磁気センサ

〇吉村 政洋¹、青 建一¹、佐藤 雅重¹、河野 欣¹、酒井 賢一¹、好田 誠²、新田 淳作²、和戸 弘幸¹ (1.株式会社ミライズテクノロジーズ、2.東北大院工)

キーワード：磁気センサ、異常ホール効果、ホイスラー合金

近年，家電・産業機器の高性能化，自動車の電動化等により磁気センサの需要は高まっており，高精度・廉価な磁気センサが望まれている。
異常ホール効果磁気センサは，最近の研究で高感度化・高精度化が期待できると報告されており，磁性膜単膜でも効果が出現し素子作製も簡便なことから，精度とコストの両立を期待している．
今回，車載応用の可能性を検討するために，Co₂MnAl異常ホール効果素子を作製し，センサ特性評価を行った．