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[22p-P03-13] フッ素フリーMOD-REBCO 超伝導薄膜作製における溶液濃度依存性
キーワード:超伝導薄膜、有機金属塗布法
超伝導線材の実用化には低コスト・高特性超伝導薄膜形成プロセスの開発が不可欠である.成膜方法としては固相成長を用いた有機金属塗布法 (MOD 法)が低コストかつ量産性に優れるが,輸送電流量を向上させるために必要な厚膜化が難しい. そこで本研究では,MOD-REBCO 超伝導薄膜の厚膜化及び高特性化を目指し,有機金属溶液の濃度と超伝導薄膜形成の依存性ついて検討した.