[22p-P04-1~16] 12.1 作製・構造制御

[22p-P04-4] フッ素系シランの電子アシスト蒸着による反射防止膜形成

〇児嶋 宏紀¹、臼井 博明¹、田中 邦明¹ (1.農工大院工)

キーワード：薄膜、真空、有機材料

特徴的な有機材料の一つであるフッ素系オリゴマー(FVTMS)の電子アシスト蒸着を行い、得られた薄膜の光学特性を評価した。FVTMSはスピンコート法では均質に製膜できず、単純蒸着では液滴状に凝集したが、電子アシスト蒸着を行うと透明な連続膜が形成された。各条件における反射スペクトルを比較すると、蒸着膜を形成することで反射率が大きく低減することが確認された。