[22p-P06-1~15] 12.4 有機EL・トランジスタ

[22p-P06-11] トナー型プリンテッドエレクトロニクスに向けた新規焼結方法の開発

〇唐澤 幸一¹、片口 雅貴¹、澤村 史也¹、酒井 正俊¹、工藤 一浩¹ (1.千葉大院工)

キーワード：プリンテッドエレクトロニクス、超音波焼結、トナー印刷法

本研究では、金属、半導体ナノ粒子のフレキシブル基板上への定着に向けた低温焼結法を検討した。Ag粒子に対して超音波焼結法を適用し焼結した。一方、ZnO粒子については流動性が高いため、超音波焼結法のみでの焼結は困難であった。そこで、当研究室では超音波焼結の前処理として蒸気曝露処理を行った。蒸気曝露によりZnO粒子同士が弱く固定され、超音波焼結によって透明なZnO薄膜として焼結されることが確かめられた。