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[22p-P07-19] 非結晶Siをペロブスカイト太陽電池のキャリア輸送層に用いるための最適流量比の検討
キーワード:ペロブスカイト太陽電池、非晶性シリコン、触媒化学気相堆積法
ペロブスカイト太陽電池の耐久性が低さはキャリア輸送層に使われる有機材料の大気安定性の低さに起因する。有機材料を大気安定性の高い無機材料に代替することで耐久性の向上が可能となる。ペロブスカイトは150℃以上の高温では構造を保てないため、焼成やプラズマCVDはペロブスカイト膜上では行えない。そこで本研究では製膜時の損傷が少ない触媒化学気相堆積法を用いた非結晶Siを製膜し、ペロブスカイト太陽電池への導入を検討した。