[23a-P02-1~24] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

[23a-P02-19] Fabrication of micropore induced soft pressure sensor with nanocarbon materials

〇Mai Abe¹, Ryosuke Suga², Shogo Tachibana¹, Tomohito Sekine^1,2,3, Yi-Fei Wang³, Yasunori Takeda³, Daisuke Kumaki³, Shizuo Tokito^1,2,3 (1.Grad. School of Organic Materials Science, Yamagata Univ., 2.Fac. of Engineering, Yamagata Univ., 3.Research Center for Organic Electronics, Yamagata Univ.)

Keywords:pressure sensor, nanocarbon materials, printed device

ソフトロボティクスへの触感覚付与は、ヒトとの協働実現や精密動作の向上にむけて重要である。特に垂直圧力検出に着目した場合、ナノカーボン含有型ソフトセンサが、高感度性の観点から注目されている。一方これらの既報告では、センサが立体構造を有する（～100 mm³）ものが多く、実装上の課題となっていた。そこで本研究では、カーボンナノチューブおよび界面活性剤からなる薄膜型ソフトセンサを作製し、その特性評価を行った。