[23a-P02-1~24] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[23a-P02-19] 細孔構造を有する薄膜型ソフト圧力センサの作製

〇阿部 真依¹、菅 凌輔²、立花 将吾¹、関根 智仁^1,2,3、Wang Yi-Fei³、竹田 泰典³、熊木 大介³、時任 静士^1,2,3 (1.山形大院有機、2.山形大工、3.山形大 ROEL)

キーワード：圧力センサ、ナノカーボン材料、印刷デバイス

ソフトロボティクスへの触感覚付与は、ヒトとの協働実現や精密動作の向上にむけて重要である。特に垂直圧力検出に着目した場合、ナノカーボン含有型ソフトセンサが、高感度性の観点から注目されている。一方これらの既報告では、センサが立体構造を有する（～100 mm³）ものが多く、実装上の課題となっていた。そこで本研究では、カーボンナノチューブおよび界面活性剤からなる薄膜型ソフトセンサを作製し、その特性評価を行った。