[23a-P07-1~3] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[23a-P07-3] MnTe半導体薄膜の多形転移メカニズムおよび速度論的調査

〇森 竣祐¹、安藤 大輔¹、須藤 祐司¹ (1.東北大工)

キーワード：半導体、相転移、多形体

MnTe多形体薄膜は原子の微小なズレによる多形転移、即ち変位型相転移により電気および光学的特性が省エネルギーかつ高速に変化するため、不揮発性メモリや光ディスクを始めとする広範な半導体分野への波及が期待できる材料である。本講演では、透過型電子顕微鏡を用いたMnTe薄膜のβ→α多形転移の詳細なメカニズムと、示差走査型熱量計を用いた熱分析による速度論的な調査結果について報告する。