[23a-P11-1~18] 13.8 光物性・発光デバイス

[23a-P11-3] 深紫外発光ZnAl₂O₄薄膜形成条件の最適化

〇園田 直樹¹、井上 晃佑¹、小南 裕子¹、原 和彦¹ (1.静岡大工)

キーワード：薄膜、紫外発光

現在、紫外殺菌について需要が高まっている。我々は、ZnAl₂O₄が殺菌用紫外発光蛍光体として適切であると考え、作製条件の最適化及びデバイスへの応用を睨んだ薄膜作製について検討を行っている。ZnAl₂O₄薄膜の作製方法として、ZnOとサファイアの熱拡散により形成している。今回、ZnAl₂O₄膜質の最適化について検討を行った。