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[23a-P11-6] 気相環境下によるZnS:Mn薄膜の光学特性及び無機ELへの応用検討
キーワード:無機EL
無機 EL(Electro-Luminescence)は、蛍光体に電界を印加することで励起・発光するデバイスであ る。無機 EL は、樹脂バインダ中に蛍光体を分散した分散型無機 EL が主流である。しかし、分散 型無機 EL は蛍光層が比較的厚いことから輝度が低く、ディスプレイへの応用は難しい。一方、蛍 光体層に薄膜を用いた薄膜型無機 EL は、蛍光体に印加される電界強度が上昇することで、高輝 度化が期待できる。本研究では、ZnS:Mn 薄膜を成膜したのち、異なる気相環境下でアニール処理 を行うことで試料の評価を行った。