[23a-P12-1~5] 13.9 化合物太陽電池

[23a-P12-1] 低コストHVPE法により作製した InGaP太陽電池の発光イメージ測定

〇(M1)南雲 大輔^1,2、庄司 靖¹、太野垣 健¹、大島 隆治¹、牧田 紀久夫¹、岡野 好伸²、菅谷 武芳¹ (1.産総研、2.東京都市大)

キーワード：太陽電池、発光

高効率化合物太陽電池を低コストで製造する技術として、HVPEを用いた高速成膜技術の開発が進められている 。これを大型ウェファへ適用した際には、大型のウェファに均一に成膜できたかなど空間的均一性を評価する必要がある。本研究では、化合物太陽電池用大型ウェファにおける空間的不均一性を短時間で評価する手法として、PLイメージング測定を行った。電界発光強度についての関係を調べ、太陽電池性能とPL強度の関係解明を進めた。