硫化法により作製した硫化スズ薄膜への熱処理効果

11:00 〜 12:40

[23a-P12-3] 硫化法により作製した硫化スズ薄膜への熱処理効果

〇小熊陸斗¹、佐々木静六¹、大前洸斗¹ (1.釧路高専)

キーワード：硫化スズ

太陽電池用材料として注目されている硫化スズについて，真空蒸着法で作製したスズを硫化した膜について電気特性に対するアニール効果を調べた．アニールによる硫化スズの組成や抵抗率の減少などの影響が確認された．