2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

9 応用物性 » 9.1 誘電材料・誘電体

[23p-P01-1~1] 9.1 誘電材料・誘電体

2021年9月23日(木) 13:00 〜 14:40 P01 (ポスター)

13:00 〜 14:40

[23p-P01-1] Ca(Mn,Nb)O3下部電極を利用したBaTiO3エピタキシャル薄膜の誘電特性評価

安原 颯1、保科 拓也1、鶴見 敬章1 (1.東工大)

キーワード:BaTiO3、エピタキシャル薄膜