[23p-P05-1~1] 15.1 Bulk crystal growth

[23p-P05-1] Single crystal growth of (InGaO₃)₁(ZnO)₂ by the pressurized Optical Floating Zone method

〇Tadahito Inoue¹, Yusuke Kawamura¹, Naoki Kase¹, Noriaki Miyakawa¹ (1.TUS)

Keywords:IGZO, crystal growth, single crystal

(InGaO₃)₁(ZnO)_m （IGZO-1m）は空間群が奇数と偶数で異なる。これまでにIGZO大型単結晶の研究は、当研究で加圧条件下でのOptical Floating Zone 法を用いて育成したIGZO-11とIGZO-13の単結晶の報告があるが、IGZO-1m（m = 偶数）はない。本研究では、 IGZO-12の大型単結晶育成とそのバルク物性を報告する。