[23p-P05-1~1] 15.1 バルク結晶成長

[23p-P05-1] 加圧式Optical Floating Zone 法による(InGaO₃)₁(ZnO)₂の大型単結晶育成

〇井上 禎人¹、河村 優介¹、加瀬 直樹¹、宮川 宣明¹ (1.東理大理)

キーワード：IGZO、結晶成長、単結晶

(InGaO₃)₁(ZnO)_m （IGZO-1m）は空間群が奇数と偶数で異なる。これまでにIGZO大型単結晶の研究は、当研究で加圧条件下でのOptical Floating Zone 法を用いて育成したIGZO-11とIGZO-13の単結晶の報告があるが、IGZO-1m（m = 偶数）はない。本研究では、 IGZO-12の大型単結晶育成とそのバルク物性を報告する。