[23p-P07-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[23p-P07-1] Niバッファ層上への六方晶窒化ホウ素薄膜のCVD成長

〇田中 佑樹¹、渡邊 泰良¹、吉岡 陸¹、増田 克仁¹、大石 泰己¹、増田 希良里¹、小南 裕子¹、原 和彦¹ (1.静岡大工)

キーワード：六方晶窒化ホウ素、化学気相法